兆声波晶圆清洗机 MC-500

## 产品特点 - 兆声波发生系统 - 超纯水循环处理 - 氮气干燥功能 - PLC自动控制 ## 技术参数 - 适用晶圆尺寸：8/12英寸 - 兆声频率：800kHz-1MHz - 清洗槽数量：6槽 - DI水电阻率：≥18MΩ·cm - 洁净度等级：Class 10 ## 规格参数 电源：380V/50Hz | 功率：25kW | 外形尺寸：3500×1800×2000mm | 重量：3500kg